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電子級水分為四個級別；I級、Ⅱ級、Ⅲ級和Ⅳ級。標記為：
I級電子級水標記為：EW-I；
Ⅱ級電子級水標記為；EW-Ⅱ；
Ⅲ級電子級水標記為；EW-Ⅲ；
Ⅳ級電子級水標記為.EW-Ⅳ。
電子級水的技術指標應符合表1的規定：
表1 電子級水的技術指標
|
級別 指標 |
EW-I |
EW-Ⅱ |
EW-Ⅲ |
EW-Ⅳ |
|
電阻率
MΩ﹒cm(25℃) |
18以上
(95N時間)
不低于17 |
15
(95N時間)
不低于13 |
12.0
|
0.5
|
|
全硅，最大值，µg/L |
2 |
10 |
50 |
1000 |
|
>1µm微粒數，最大值，個/mL |
0.01 |
5 |
10 |
500 |
|
細菌個數，最大值，個/mL |
0.01 |
0.1 |
10 |
100 |
|
銅,最大值，µg/L |
0.2 |
1 |
2 |
500 |
|
鋅，最大值，ug/L |
0.2 |
1 |
5 |
500 |
|
鎳，最大值．µg/L |
0.1 |
1 |
2 |
500 |
|
鈉．最大值，µg/L |
0.5 |
2 |
5 |
1000 |
|
鉀，最大值．ug/L |
0.5 |
2 |
5 |
500 |
|
氯，最大值．ug/L |
l |
l |
10 |
1000 |
|
硝酸根，最大值，ug/L |
1 |
1 |
5 |
500 |
|
磷酸根，最大值．ug/L |
1 |
1 |
5 |
500 |
|
硫酸根，最大值,ug/L |
1 |
1 |
5 |
500 |
|
總有機碳，最大值，ug/L |
20 |
100 |
200 |
1000 |
具體標準見：GBT11446 電子級超純水中國國家標準
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